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高频半自动探针台

· 2024-04-09
高频半自动探针台
项目所在采购意向: 南京航空航天大学2024年5月政府采购意向
采购单位: 南京航空航天大学
采购项目名称: 高频半自动探针台
预算金额: 500.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100803光电测量仪器
采购需求概况:
高频半自动探针台,1套,能对裸芯片、封装后的芯片及器件进行测试。尺寸200mm*200mm或以上;探针台可实现-60°C至300°C的温度变化;均匀性为+/-0.1°C,在X-Y方向:1µm 分辨率、在Z方向:5mm 的移动范围、1µm 分辨率。平坦度误差优于35um;两个附加小载物台的平坦度优于 8um。
预计采购时间: 2024-05
备注:
进口设备

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。

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