大连理工大学等离子体电学在线诊断设备采购项目
· 2022-11-19
| 大连理工大学等离子体电学在线诊断设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 大连理工大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 大连理工大学 |
| 采购项目名称： | 大连理工大学等离子体电学在线诊断设备采购项目 |
| 预算金额： | 185.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A021199其他电子和通信测量仪器 |
| 采购需求概况： | 等离子体电学在线诊断设备，1台，以实现在线同时高精度测量射频功率、射频电流、射频电压、射频阻抗分析、等离子体密度、刻蚀率等，最大测量功率≥10kW，功率分辨率1W；电压分辨率0.1V，最大电压：2.5kV；电流分辨率3mA、最大电流>15A；覆盖频率：60MHz、13.56MHz、400kHz；波形显示及阻抗分析；等离子体密度测量区间1E9cm-3—1E12cm-3；电子能量分布函数、离子密度；刻蚀率；大于60-Bit数据采集分析同步工作，软件二次开发，实现系统数据处理及分析。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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